所属专家：何林 本发明涉及薄膜热敏电阻技术领域，具体涉及一种负温度系数薄膜热敏电阻及其制备方法及其电阻值的调节方法。一种负温度系数薄膜热敏电阻，其特征在于：由下而上依次包括基板、底层Mn-Co-Ni-O三元过渡金属氧化物膜层、中间层Mn-Co-Ni-Cu-O四元过渡金属氧化物膜层、顶层Mn-Co-Ni-O三元过渡金属氧化物膜层和电极；该负温度系数薄膜热敏电阻呈现Mn-Co-Ni-O/Mn-Co-Ni-Cu-O/Mn-Co-Ni-O三明治结构。本发明制备的负温度系数薄膜热敏电阻的电阻值在1.0~4.2MΩ左右可调，老化系数小于4%，从而使得该负温度系数薄膜热敏电阻具有电阻值较低且老化系数低的优点。