所属专家：易剑 本发明公开了一种超声波辅助振荡压力烧结氮化硅陶瓷的方法，其包括有以下工艺步骤：a、于氮化硅粉体中加入氧化铝粉体、氧化钇粉体，搅拌混合后获得氮化硅混合粉体；b、氮化硅陶瓷坯件借助油压机并辅助超声波进行压制；c、将氮化硅陶瓷坯件装入至烧结炉内的石墨模具内；d、超声波辅助预压并加热升温；e、施加振荡压力耦合并辅助超声波；f、降温并泄压；g、随炉自然冷却。通过上述工艺步骤设计，本发明能够有效地生产制备氮化硅陶瓷，且通过施加振荡压力并辅助超声波的方式可以有效抑制晶粒生长并将晶粒尺寸控制在较窄的尺寸区间内，还能够有效促进晶界处闭气孔的排出，且所制备而成的氮化硅陶瓷致密度高、硬度高、强度高。